【解説/半導体材料】次世代半導体製造に用いるEUV露光の要、阪大教授が30年前に開発した「CLBO結晶」とは？ [すらいむ★]

【解説/半導体材料】次世代半導体製造に用いるEUV露光の要、阪大教授が30年前に開発した「CLBO結晶」とは？ [すらいむ★] at SCIENCEPLUS

1:すらいむ ★
24/03/18 23:19:23.45 ppE+o/Ee.net
次世代半導体製造に用いるEUV露光の要、阪大教授が30年前に開発した「CLBO結晶」とは？
　大阪大学の森勇介教授（名古屋大学教授を兼務）は30年前に「CLBO結晶」を開発した。
　同結晶は紫外レーザーの波長変換素子として、今や次世代半導体の製造に用いる極端紫外線（EUV）露光の前工程と後工程に必須の素材だ。
　「産業の“川上”に位置する結晶」（森教授）となっている。
　CLBOはセシウム、リチウム、ホウ素、酸素による化合物の結晶。
　これに通すと世界最高出力の紫外レーザーが発生する。
　半導体からレーザーの研究室に移り、両分野の技術を融合したことで運良く発見した。
（以下略、続きはソースでご確認ください）
ニュースイッチ　3/17(日) 15:10
URLﾘﾝｸ(news.yahoo.co.jp)

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